COURS // MIC6120 Technologies des circuits ITGE
Description du cours
- Cycle : 1
- Type de cours : Atelier
- Nombre de crédits : 3
- Discipline : Microélectronique
Description
Études des étapes de fabrication de circuits intégrés. Fabrication et préparation des tranches, croissance cristalline, épitaxie, oxydation, diffusion, implantation ionique, lithographie. Plasma et couches minces. Rendement et fiabilité. Méthodes de mesures. Procédés de fabrication pour les technologies MOS, bipolaire et BiMOS. Outils CAO pour la conception et la vérification du procédé. Encapsulage (packaging) des circuits. Une partie du cours se fera en collaboration avec une industrie de fabrication de circuits ITGE. Travaux pratiques en laboratoire (3 heures/semaine).
Préalables académiques
[ING5400 Physique des semi-conducteurs] ou [PHG6480 Physique de l'état solide]
Horaire - Hiver 2025
Ce cours n'est pas offert lors de ce trimestre.
Horaire - Été 2025
Ce cours n'est pas offert lors de ce trimestre.
Horaire - Automne 2025
Ce cours n'est pas offert lors de ce trimestre.