COURS // MIC5130 Capteurs, senseurs et actionneurs
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| Trimestre | Cours | Groupe |
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Description du cours
- Cycle : 1
- Nombre de crédits : 3
- Discipline : Microélectronique
Objectifs
Ce cours vise à familiariser l'étudiant avec le rôle croissant des microsystèmes et des capteurs dans le contexte des systèmes informatiques et électroniques.
À la fin de ce cours, l'étudiant devra être en mesure de:
- identifier les possibilités et les limites des capteurs, senseurs et actionneurs;
- maîtriser les bases théoriques nécessaires en mécanique, en électrique et en optique pour comprendre et analyser le fonctionnement des différents microsystèmes;
- expliquer les mécanismes d'opération et les paramètres d'utilisation d'une variété de microsystèmes et de capteurs;
- concevoir ces dispositifs pour les intégrer au sein de systèmes informatiques et électroniques;
- décrire les procédés et techniques de fabrication de microsystèmes et de capteurs;
- concevoir et documenter la séquence de fabrication des technologies de microsystèmes;
- décrire différentes stratégies d'encapsulation et de mise en boîtier, et leurs impacts au niveau des systèmes informatiques et électroniques.
Sommaire du contenu
Dispositifs et fonctions: capteurs inertiels et environnementaux, antennes, microphones et haut-parleurs, dispositifs radiofréquence, récolteurs d'énergie, dispositifs microfluidiques et biomédicaux. Études de cas. Insertion au sein de systèmes informatiques et électroniques.
Bases théoriques: mécanique des solides, contraintes et déformations, résonance, forces électromécaniques, ondes électromagnétiques et acoustiques. Mécanismes de transduction. Techniques de microfabrication. Assemblage, mise en boîtier, encapsulation sous vide, stratégies d'intégration (monolithique, hétérogène, hybride).
Développement de microsystèmes: élaboration de technologies, simulation à éléments finis, dessin de masques, tests et caractérisation, méthodes de calibration, considérations économiques.
Modalité d'enseignement
Cours magistral de 3 heures/semaine. L'évaluation se fait par des devoirs et des examens. Séances d'exercices dirigés (2h/semaine)
Préalables académiques
[MIC1117 Électronique pratique et projet intégrateur]
